Vakuumkammern

Typ: Prozesskammer
Volumen: 120 Liter
Oberfläche: innen und außen glasperlfeingestrahlt
Besonderheit: Kühlschlangen außen

EDIS verfügt über besondere Kompetenz in der Produktion von Vakuumkammern. Dabei reichen unsere Leistungen von der Fertigung nach kundenseitigen Konstruktionsunterlagen über die Beratung und Planung bei der Auslegung der Kammern bis hin zur kompletten Konstruktion der Kammern durch EDIS. Wir bieten ein breites Spektrum an Oberflächenbehandlungsverfahren an, z.B: glasperlfeingestrahlt, rauhgestrahlt, geschliffen, elektropoliert etc. und unterziehen jede Vakuumkammer einer Dichtheitsprüfung nach Kundenvorgaben.

Auf dieser Seite stellen wir Ihnen einige Beispiele unserer bisher gefertigten Vakuumkammern vor.

Typ: Prozesskammer
Volumen: 120 Liter
Oberfläche: innen und außen glasperlfeingestrahlt
Besonderheit: Kühlschlangen außen
Typ: Prozesskammer
Volumen: 900 Liter
Oberfläche: innen und außen glasperlfeingestrahlt
Besonderheit: Kühlrippen außen
Typ: Prozesskammer-PECVD
Volumen: 4000 Liter
Oberfläche: innen geschliffen ‹Rz 6.3 und außen glasperlfeingestrahlt
Besonderheit: außen isoliert

Typ: Prozesskammer-PVD
Volumen: 2800 Liter
Oberfläche: innen geschliffen ‹Rz 6.3 und außen glasperlfeingestrahlt
Besonderheit: außen isoliert

Typ: Prozesskammer
Volumen: 6800 Liter
Oberfläche: innen geschliffen ‹Rz 6.3 und außen glasperlfeingestrahlt
Besonderheit: doppelwandig-wassergekühlt
Typ: Chargierkammer
Volumen: 100 Liter
Oberfläche: innen lackiert mit Vakuumfarbe, außen pulverbeschichtet